纳米压痕仪技术特点与介绍

       一、纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术，是最简单的测试材料力学性质的方法之一，在材料科学的各个领域都得到了广泛的应用。

　　二、纳米压痕仪，又称纳米压入仪，主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试，测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出，无需通过显微镜观察压痕面积。适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。

1、完全符合ISO14577、ASTME2546

2、光学显微镜自动观察

3、独特的热漂移控制技术

4、可硬度、刚度、弹性模量、断裂刚度、失效点、应力-应变、蠕变性能等力学数据。

5、适时测量载荷大小

6、采用独立的载荷加载系统与高分辨率的电容深度传感器

7、快速的压电陶瓷驱动的载荷反馈系统

8、双标准校正:熔融石英与蓝宝石